特許
J-GLOBAL ID:200903041558259675
光ファイバセンサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-304957
公開番号(公開出願番号):特開2002-116103
出願日: 2000年10月04日
公開日(公表日): 2002年04月19日
要約:
【要約】【課題】 温度、深度等の準静的な物理量を測定することができる光ファイバセンサを得る。【解決手段】 周波数変調したレーザ光を送出する光源部2と、測定対象の物理量に応じて、光路となる長さを変化させるセンシング用光ファイバ32を有し、光源部2から送出されたレーザ光をセンシング用光ファイバに透過させて反射したレーザ光を基準のレーザ光と干渉させるセンサ部3と、干渉させたレーザ光を電気信号に変換するO/E変換部4と、電気信号に基づいて干渉させたレーザ光に含まれる高調波成分を抽出する高調波成分抽出部6と、抽出した高調波成分の前記振幅比に基づいて、干渉させた光の位相差及び変調指数Cを算出し、干渉させた光の位相差φに基づいて許容誤差範囲内であると判断した場合に、変調指数Cに基づいて光路差ΔL及び静圧Pを算出する復調部7とを備えている。
請求項(抜粋):
周波数変調したレーザ光を送出する光源部と、測定対象の物理量に応じて、光路となる長さを変化させるセンシング用光ファイバを有し、前記光源部から送出されたレーザ光を前記センシング用光ファイバに透過させて反射したレーザ光を基準のレーザ光と干渉させるセンサ部と、前記干渉させたレーザ光を電気信号に変換する光-電気変換部と、前記電気信号に基づいて前記干渉させたレーザ光に含まれる高調波成分を抽出する高調波成分抽出部と、抽出した前記高調波成分の前記振幅比に基づいて、前記干渉させた光の位相差及び変調指数を算出し、前記干渉させた光の位相差に基づいて許容誤差範囲内であると判断した場合には、さらに、前記変調指数に基づいて前記光路差及び前記物理量を算出する復調部とを備えたことを特徴とする光ファイバセンサ。
IPC (5件):
G01L 9/00
, G01B 9/02
, G01J 5/08
, G01J 5/10
, G01J 9/02
FI (5件):
G01L 9/00 B
, G01B 9/02
, G01J 5/08 A
, G01J 5/10 E
, G01J 9/02
Fターム (21件):
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC11
, 2F055DD07
, 2F055EE31
, 2F055FF11
, 2F055GG31
, 2F055GG49
, 2F064CC01
, 2F064EE01
, 2F064EE04
, 2F064GG02
, 2F064GG24
, 2F064HH05
, 2F064JJ04
, 2F064JJ15
, 2G066BA18
, 2G066BA38
, 2G066BC07
, 2G066BC15
, 2G066CA11
引用特許:
審査官引用 (1件)
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光ファイバセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-285224
出願人:沖電気工業株式会社
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