特許
J-GLOBAL ID：200903041558711187
レーザプラズマ軟X線のエネルギー測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313437
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149000
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 軟X線発生装置の波長ごとのスペクトル強度を簡単にモニターできる軟X線のエネルギー測定装置。【解決手段】 発生した軟X線を採光し平面結像型回折格子に照射する光源限定スリット6と、この光源限定スリットから照射された軟X線を波長分散し平面結像する平面結像型回折格子9と、この回折格子の平面結像面に波長分散方向に移動可能に取り付けられ波長分散した軟X線10を受光する波長選択スリット12を有する小型MCP13とからなる。光源限定スリットにより採光されて回折格子に照射された軟X線は波長分散し、結像面に線スペクトルとして結像する。この回折格子の結像面には波長選択スリットを有する小型MCPが波長分散方向に移動可能に取り付けられているので、回折格子での波長λと小型MCPの位置Xは波長分散角度βを用いて簡単に求めることができるため、各波長ごとの線スペクトルの強度を測定できる。
請求項（抜粋）：
レーザプラズマ軟X線(以下単に軟X線という。)発生装置に取り付けられる軟X線のエネルギー測定装置であって、発生した軟X線を採光し平面結像型回折格子に照射する光源限定スリットと、前記光源限定スリットから照射された軟X線を波長分散し平面結像する平面結像型回折格子(以下単に回折格子という。)と、前記回折格子の平面結像面に波長分散方向に移動可能に取り付けられ波長分散した軟X線を受光する波長選択スリットを有するマイクロチャンネルプレート(以下MCPという。)とからなることを特徴とするレーザプラズマ軟X線のエネルギー測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 1/06 G
, G01T 1/36 D
