特許
J-GLOBAL ID：200903041569011934
異物除去装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹岡 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221028
公開番号（公開出願番号）：特開平8-057438
出願日： 1994年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：
【要約】【目的】 異物検出手段と異物除去手段の移動を停止することなく基板上の異物を除去可能な異物除去装置を提供することにある。【構成】 基板を治具に固定し、前記基板上に異物除去機構52とその両側に異物検出機構51、53を同一ユニットとして設置する。ユニットを基板上で移動させ移動方向から見て手前にある異物検出機構53により基板上の異物を検出し、検出された異物上を異物除去機構52が通過するとき異物を除去する。更に移動方向から見て後にある異物検出機構51により異物が除去されたことを確認する。除去されていなかった場合、ユニットを移動し、異物除去機構52を異物の位置に戻し異物除去し、再び異物が除去されたこと異物検出機構51により確認する。
請求項（抜粋）：
基板上の異物を検出して該異物を除去する異物除去装置において、第1の異物検出機構と、第2の異物検出機構と、該第1と第2の異物検出機構の間に設けられたエアーを吹き出すノズルとエアーを吸引する排出口を有する第1の異物除去機構とからなる異物除去ユニットと、該異物除去ユニットを基板上で移動させる機構を備えることを特徴とする異物除去装置。
IPC (4件)：
B08B 5/00
, H01L 21/02
, H01S 3/00
, H05K 3/26
