特許
J-GLOBAL ID：200903041571521800
プローブカード検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-320632
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157790
出願日： 1991年12月04日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 プローブカード36の測定針37の高さばらつき、接触抵抗及び針先座標パターンを迅速かつ高精度に行う。【構成】 検査装置基台30に上下動(Z)可能に昇降ユニット31を支持し、この昇降ユニット31には複合検査基板32を固定する。この複合検査基板32は前記昇降ユニット31内においてスライド自在であって導体から成る電極平板33と透明ガラス平板34とが同一平面に並設されて検査位置200に対していずれかの平板33または34を対向配置することができる。プローブカード36は、プローブカードホルダ35によって前記複合検査基板32の上方に位置決めされ、このプローブカード36の測定針37と前記電極平板33とはテスタに接続されている。前記昇降ユニット31には光学顕微鏡38及びCCDカメラ39から成る針先観察装置がXY方向に任意に移動自在に設けられ、前記透明ガラス平板34を通して測定針37の先端を画像認識する。従って、複合検査基板32のスライドによって各種の検査を連続的に行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
基台に上下動可能に支持された昇降ユニットと、前記昇降ユニット上面にスライド自在に載置され、導体から成る電極平板と透明ガラス平板とが同一平面で並設された複合検査基板と、プローブカードが着脱自在に装着され、プローブカードの測定針を前記複合検査基板に臨ませるプローブカードホルダと、前記プローブカードの測定針及び前記電極平板と電気的に接続され、測定針と電極平板間の接触抵抗を測定するテスタと、前記昇降ユニットに水平方向に移動自在に設けられ、前記透明ガラス平板を通してプローブカードの測定針を観察する針先観察装置と、を含み、検査位置に位置決めされたプローブカードに対して電極平板を対向させて測定針の高さばらつき及び接触抵抗を測定し、またプローブカードに対して透明ガラス平板を対向させて測定針先座標を測定することを特徴としたプローブカード検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/00
, G01R 1/073
, H01L 21/66
