特許
J-GLOBAL ID：200903041576230803
光学式センサ及びこのセンサを使用する検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田代 烝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082880
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273915
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 光学式センサによってICリード等の被測定対象物を検査する際に、測定対象部位を先行して検知し、その部位のみを走査測定するようにすると共に、検知作業と走査測定作業とを被測定対象物との相対的運動の中で連続して行い得るようにすること。【解決手段】 光学式センサ1が第二の光学センサ系7を有しており、このセンサ系が先行して被測定対象物4の検査対象箇所を検知し、この検知結果にもとずいて偏向器10を操作し、投光器2のスポット光を検査対象箇所へ指向する。
請求項（抜粋）：
被測定対象物へ向けられるスポット光を発生する投光器と、被測定対象物からの反射光を受光する受光器と、投光器からのスポット光を偏向させる偏向器と、この偏向器を作動させる作動装置とを有する第一の光学センサ系と、この第一の光学センサ系と一体に設けられ、光学式センサと被測定対象物との相対的な動きの中で、被測定対象物の検査対象箇所を第一の光学センサ系に先行して検知し、この検知結果にもとずいて上記作動装置により偏向器を作動させ、投光器のスポット光を上記の検査対象箇所へ指向させる対象箇所検出のための第二の光学センサ系とを有していることを特徴とする、光学式センサ。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G01B 11/00
, G01B 11/02
G01B 11/24 C
, G01N 21/88 E
, G01B 11/00 A
, G01B 11/02 Z
