特許
J-GLOBAL ID:200903041576820619

フローセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 辰彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-298427
公開番号(公開出願番号):特開平10-142249
出願日: 1996年11月11日
公開日(公表日): 1998年05月29日
要約:
【要約】【課題】簡単且つ安価な構成で流体温度の幅広い温度範囲にわたって流速あるいは流量の測定を精度よく行うことができるフローセンサを提供する。【解決手段】流体の流路中に配置する二つの感熱抵抗素子1,2をこれに接続した電圧付与回路6,7により、各感熱抵抗素子1,2の温度が互いに異なる一定温度に保持されるように通電・加熱し、この状態で電圧付与回路6,7の出力電圧を直線化回路8,9によりそれぞれ直線化して各感熱抵抗素子1,2への供給電力に応じたレベルの信号を生成する。各直線化回路8,9の出力を差動増幅回路5に入力し、この差動増幅回路5から流体の温度の影響を受けずに流体の流量又は流速に応じたレベルの信号を出する。
請求項(抜粋):
流体の流速又は流量を測定すべき流路に配置される一組の感熱抵抗素子と、各感熱抵抗素子に対応してそれぞれ設けられ、各感熱抵抗素子を互いに異なる一定温度に保持するよう各感熱抵抗素子に電力を供給ししつつ、そのそれぞれの供給電力値に応じたレベルの信号を出力する一組の検出回路と、両検出回路の出力のレベル差に応じたレベルの信号を前記流体の流速又は流量の値を示す信号として出力する差動増幅回路とから成ることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件):
G01P 5/12 ,  G01F 1/68
FI (2件):
G01P 5/12 M ,  G01F 1/68
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭59-136620

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