共焦点型顕微鏡の合焦装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303032
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142516
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】本発明は、安定した自動合焦を実現できる共焦点型顕微鏡の合焦装置を提供する。【解決手段】予め共焦点光学系7より深い焦点深度を有する非共焦点光学系8を用意し、この非共焦点光学系8にて得られた試料像から合焦させたい位置Xと試料9の光軸方向の移動範囲の1回ごとの移動量を設定し、次に、共焦点光学系7に切換えて、予め設定された1回の移動量に応じた移動ごとの試料像について位置Xに対応する画像データをラインメモリ13に記憶し、この記憶された画像データから演算回路14により最大輝度に対応する合焦位置を演算する。

請求項（抜粋）：

試料に対して光源からの光を走査し、該走査に応じた試料像の共焦点検出を可能にした共焦点検出光学系を有する共焦点型顕微鏡において、前記共焦点光学系より深い焦点深度を有し前記試料像を検出可能にした検出光学系と、この検出光学系により検出される試料像上の任意の位置情報と前記試料の光軸方向の移動範囲の1回ごとの移動量を設定する設定手段と、この設定手段に設定された1回の移動量に応じた移動ごとの前記共焦点光学系により検出された試料像について前記任意の位置情報に対応する画像データを記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶された画像データから最大輝度に対応する合焦位置を演算する合焦位置演算手段とを具備したことを特徴とする共焦点型顕微鏡の合焦装置。

IPC (4件)：

G02B 21/26 , G02B 7/04 , G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (4件)：

G02B 21/26 , G02B 7/04 C , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

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