特許
J-GLOBAL ID：200903041585795724
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法及びこれに用いるサンドブラスト装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324971
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172424
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 端部付近に欠陥を生じることなくサンドブラスト加工により所望のラインパターンの障壁を形成する。【解決手段】 ライン状マスクにおけるライン端部付近の上方に遮蔽板9を配設した状態でサンドブラスト加工後のブロア工程を行う。遮蔽板9がブロアノズル8からのエアーをせき止めるので、ライン状マスク4aの端部付近が障壁形成層から剥がれるのが防止され、続く剥離工程において障壁形成層が剥離液で削られることがなく、したがってライン端部付近に欠陥を生じることなく障壁を形成できる。
請求項（抜粋）：
基板上に障壁形成層を形成し、その上に耐サンドブラスト性を有するライン状マスクを所定ピッチで形成した後、該ライン状マスクを介して研磨材による研削を行うサンドブラスト加工により障壁形成層の不要部分を除去し、次いでブロアノズルからのエアーにより使用後の研磨材を吹き飛ばすブロア工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、前記ライン状マスクにおけるライン端部付近の上方に遮蔽板を配設した状態でブロア工程を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, B24C 1/04 C
