特許
J-GLOBAL ID：200903041586586320
微小電流センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192436
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010979
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 鉄心2を使用せずに微小電流を効果的に検出できる小型の微小電流センサを提供する。【構成】 基板6上にホール素子13を形成し、このホール素子13上に絶縁膜7を成膜する。この絶縁膜7上にコイルパターン5を形成し、コイルパターン5を絶縁膜8で被覆し、この絶縁膜8の表面にコイルパターン5の引き出し端子9を形成する。
請求項（抜粋）：
磁界検出素子の少なくとも表裏一方側の絶縁形成面に通電によって磁界を発生させるコイルパターンを一体的に形成した微小電流センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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