特許
J-GLOBAL ID：200903041588462980
短い波長での画像形成に特に適したフォトレジスト組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-376940
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298348
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】本発明は、新規なフォトレジスト組成物、特に、193nmにおいて画像形成可能なレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、樹脂バインダー、酸発生剤化合物および添加剤としてのアミン化合物を含む、新規なフォトレジスト組成物を提供する。第1の態様において、添加剤のアミンは、1)非芳香族であり、2)9個から16個ぐらいの炭素原子を有し、3)第一級または第二級アミノ基を含まず、及び/または、2つの第三級アミノ基が、置換基を有していてもよいエチレン結合によって隔てられた、複数の第三級アミノ基を含まない。関連する態様において、該添加剤アミンは、1)脂肪族環を構成する一員であり、好ましくは、ビシクロ系または他の多環系の、環と環との間の結合位置にある第三級窒素、または、2)環員ではなく、少なくとも2つの第三級または第四級炭素基によって置換されている第三級窒素、のいずれかを含む、非芳香族アミンである。
請求項（抜粋）：
樹脂バインダー、酸発生剤化合物、および7個から20個ぐらいの炭素原子を有し、第一級または第二級アミノ基を有さない、非芳香族アミン化合物を含んで成る、フォトレジスト組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, C08K 5/17
, C08L101/00
, G03F 7/004 501
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08K 5/17
, C08L101/00
, G03F 7/004 501
, H01L 21/30 502 R
