特許

J-GLOBAL ID：200903041591286378

走査型電子顕微鏡

発明者： 木村 隆志
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341691
公開番号（公開出願番号）：特開平5-159736
出願日： 1991年12月02日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 試料を移動する移動機構を設けずに、電子線を試料の所望の位置に照射できる。【構成】 電子銃6と、電子銃6から放出された電子線18を試料P上に照射するための照射手段8と、電子銃6と照射手段8を保持する保持体としての鏡筒1を備える。鏡筒1は試料Pに対して移動可能になっている。

請求項（抜粋）：

電子銃(6)と、電子銃(6)から放出された電子線(18)を試料(P)に導いて走査するための照射手段(8)と、電子銃(6)と照射手段(8)を保持する保持体(1)を備え、保持体(1)は試料(P)に対して移動可能に構成した走査型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/16