特許
J-GLOBAL ID：200903041598612394
レーザトリミング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248840
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090071
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 厚膜コンデンサーにおいて、その上部銅電極をレーザを用いて除去することにより、THB試験における耐圧性能を劣化させることなく、コンデンサーの容量トリミングを行う。【構成】 QスイッチNd:YAGレーザの第2高調波を用いて、厚膜コンデンサーの上部電極をレーザ光の走査により除去していく。この時、1パルスで電極全部が蒸発してしまうよりも低めのレーザパワーに設定し、1つのトリミングライン1を複数回の高速レーザ走査を行うことで電極の除去を行う。また、トリミングの始点と終点には、マスク6を用いて遮光する。このようなトリミングライン1を、相互に重なることがないように平行に並べてつくることにより、適当な面積の上部電極を除去する。これにより、耐圧性能が良く、精度の良い容量トリミングが可能となる。
請求項（抜粋）：
QスイッチNd:YAGレーザの第2高調波を用い、同一線上にレーザビーム照射を複数回走査することにより、厚膜コンデンサーの上部電極を除去して容量トリミングを行なうレーザトリミング方法。
IPC (2件)：
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