炭化珪素焼成用治具

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安富康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-342923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072472
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】焼成時に表面で炭化珪素の粗大粒子が生成しにくく、繰り返し使用することができる炭化珪素焼成用治具を提供する。【解決手段】多数の貫通孔が隔壁を隔てて長手方向に並設された柱状の炭化珪素成形体を脱脂した後、焼成する際に用いる炭素材料からなる板状の焼成用治具であって、上記炭素材料は、30〜60%の気孔率を有することを特徴とする炭化珪素焼成用治具。

請求項（抜粋）：

多数の貫通孔が隔壁を隔てて長手方向に並設された柱状の炭化珪素成形体を脱脂した後、焼成する際に用いる炭素材料からなる板状の焼成用治具であって、前記炭素材料は、30〜60%の気孔率を有することを特徴とする炭化珪素焼成用治具。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-181585
特開昭60-181585

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