特許
J-GLOBAL ID：200903041609658855
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201072
公開番号（公開出願番号）：特開2005-040670
出願日： 2003年07月24日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】溶液タンク内に貯えられた機能性薄膜を形成するための溶液を、その機能性を劣化させることなく基板に塗布できるインクジェット方式の塗布装置を提供すること。【解決手段】基板Wに機能性薄膜を形成するための溶液を噴射塗布するインクジェット方式の塗布装置において、上記溶液を噴射するためのノズルを備えたヘッド7と、上記溶液を貯えた溶液タンク31と、この溶液タンク31内の溶液を上記ヘッド7に供給するための溶液供給管21と、上記溶液タンク31内の溶液を排出するための溶液排出管72と、この溶液排出管72に設けられ、上記溶液タンク31に溶液を補給してから所定時間が経過すると自動的に開放される溶液排出弁73とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に機能性薄膜を形成するための溶液を噴射塗布するインクジェット方式の塗布装置において、
上記溶液を噴射するためのノズルを備えたヘッドと、
上記溶液を貯えた溶液タンクと、
この溶液タンク内の溶液を上記ヘッドに供給するための溶液供給管と、
上記溶液タンクに補給されてから所定時間が経過した溶液を排出するための溶液排出手段と、
を具備することを特徴とする塗布装置。
IPC (3件)：
B05C5/00
, B05C11/10
, G02F1/13
B05C5/00 101
, B05C11/10
, G02F1/13 101
2H088EA67
, 2H088FA30
, 2H088HA04
, 2H088MA16
, 2H088MA20
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA34
, 4F041BA47
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA10
, 4F042AB00
, 4F042BA20
, 4F042CA08
, 4F042CB07
, 4F042CB11
, 4F042CB19
, 4F042CB26
, 4F042DA09
