特許

J-GLOBAL ID：200903041610264178

露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 堀川 浩人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-309543
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123318
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】ノズル部を介して電気性用力を伝達させる。【解決手段】投影光学系PLによりパターンが投影される基板を保持するステージ4と、投影光学系PLと基板との間で液体を処理するノズル部70とを有する。ステージ4とノズル70との間で露光処理に用いる電気性用力を非接触で伝送する伝送装置Tを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

投影光学系によりパターンが投影される基板を保持するステージと、前記投影光学系と前記基板との間で液体を処理するノズル部とを有する露光装置であって、 前記ステージと前記ノズル部との間で露光処理に用いる電気性用力を非接触で伝送する伝送装置を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 514E ,  H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521

Fターム (3件)：

5F046AA17 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 国際公開第99/49504号パンフレット