特許
J-GLOBAL ID：200903041623457102
照明装置及びそれを用いた観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-091802
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264429
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 露光光と波長が異なる検出光(アライメント光)で投影レンズ系を介してマークの観察を良好に行うことのできる照明装置及びそれを用いた観察装置を得ること。【構成】 光源手段からの光束で照明系を介して物体面を照明する際、該照明系中の該物体面と光学的な共役面及び該照明系の瞳面にホログラムを設けていること。
請求項（抜粋）：
光源手段からの光束で照明系を介して物体面を照明する際、該照明系中の該物体面と光学的な共役面及び該照明系の瞳面にホログラムを設けていることを特徴とする照明装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 525 F
, G02B 5/32
, H01L 21/30 528
