特許
J-GLOBAL ID：200903041625655530
基板搬送位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-167474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090306
出願日： 1991年06月13日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 簡単且つ低廉な構成にしてあらゆる形状の基板に対する汎用性を有する位置決め手段を具備した基板搬送位置決め装置を提供する。【構成】 基板移送手段により移送された基板31が載置される受け台60上に、複数条の空気等の流体放出用の長手溝60b及び60cを互いに交差するように形成して流体を全方向に放出させて確実な位置決めを行うように構成した。
請求項（抜粋）：
基板を載置するための平坦な受け面を有する受け台と、基板をその主面に対して平行に移送して前記受け台上に載置する基板移送手段とを備え、前記受け面には複数条の長手溝が形成されていることを特徴とする基板搬送位置決め装置。
IPC (2件)：
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