特許
J-GLOBAL ID：200903041628495096
振動ジャイロ及びその駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006734
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 振動子を大きくすることなく回転角周波数の検出精度を上げる。【解決手段】 板状振動子2を貫通孔ha〜hdを穿設した構造とし、その表裏に駆動電極6a〜6d及び検出電極をそれぞれ対向して形成する。振動子2は貫通孔が穿設されたことで、共振周波数が低下すると共に弾性的な屈曲変位が起こり易くなる。駆動電極6a,6bに-1V、6c,6dに+1Vの電気信号を入力して駆動し(信号は交流で、±は位相を表す)、軸8を中心に回転を加える。その結果コリオリ力が発生し、振動モードが2つに分離し、検出電極7a〜7bの出力信号に位相が生じ、これにより回転角周波数を求めることが可能となる。この振動ジャイロは、振動子に貫通穴を穿設し、面内曲げ振動モードを利用しているので、駆動・検出周波数が低くなり、高感度な回転角周波数の検出が可能となる。
請求項（抜粋）：
圧電体よりなる板状振動子に貫通穴を形成し、表裏にそれぞれ対向して駆動電極と検出電極を設けた振動ジャイロ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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