特許
J-GLOBAL ID：200903041636070371
研磨材の回収装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189345
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009721
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 研磨工程排水から研磨材スラリとして容易に再利用可能な研磨材粒子のスラリを容易かつ効率的に回収する。【解決手段】 研磨工程排水を濃縮処理する濃縮手段2と濃縮液中の研磨材粒子を洗浄する洗浄手段3と、洗浄手段3又はそれよりも前の工程に分散剤を添加する手段とを備えてなる研磨材の回収装置。研磨工程排水を濃縮すると共に洗浄処理する洗浄濃縮手段2と、洗浄濃縮手段に導入される水に分散剤を添加する手段とを備えてなる研磨材の回収装置。
請求項（抜粋）：
研磨工程排水から研磨材を回収する装置において、該研磨工程排水を濃縮処理する濃縮手段と、該濃縮手段からの濃縮液を洗浄する洗浄手段と、該洗浄手段又はそれよりも前の工程に分散剤を添加する分散剤添加手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3C047FF19
, 3C047GG14
, 3C047GG17
, 4D037AA13
, 4D037AB02
, 4D037AB11
, 4D037BA28
, 4D037CA03
