特許

J-GLOBAL ID：200903041639362640

コンビネーションマスク

発明者： 加世田 遵一 ,  園田 誠
出願人/特許権者： 株式会社渕上ミクロ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252221
公開番号（公開出願番号）：特開2003-064468
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、メタルマスク単体にて所定の寸法形状を維持できないメタルマスク4を、有機エレクトロルミネセンス素子用蒸着治具枠へ接着固定し、所定の寸法形状および所定の回路パターンを実現する蒸着マスクを作成することを目的とする。【解決手段】本発明は、スクリーン印刷に用いられるアルミ等からなる四角形状をしたスクリーン版枠1の内側にスクリーンメッシュ2のXY方向にそれぞれ異方性を保ちながら張設し、コンビネーションマスク9を製作するものである。メタルマスク単体では所定の寸法形状を維持できない回路パターン3のメタルマスク4をコンビネーションマスク9とし、これを用いて、有機エレクトロルミネセンス素子を製造するときに用いられる蒸着マスクを製造することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

蒸着マスクの製造に用いるコンビネーションマスク。

IPC (4件)：

C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

C23C 14/04 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03