ステージ装置及びその制御方法並びに露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122786
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315479
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】微動ステージのストローク範囲を拡大することなく、且つ、粗動ステージと微動ステージに要求される機械的精度を緩和しつつ、粗動ステージと微動ステージとの相対距離を一定に保つことが可能なステージ装置を提供する。【解決手段】微動ステージ1はXYスライダー上に搭載され、XY方向に微小範囲を移動可能である。XYスライダー4はYガイドバー6によってX方向へ移動するが、Xガイドバー5によってX方向への移動が規定される。Xガイドバー5の方向と微動ステージ1のバーミラー2の面との相対角度がαである場合、Yガイドバー6によってXYスライダー4をxだけX方向に移動したとき、αxだけXガイドバーを移動する。こうして、微動ステージ1の位置決め後における微動ステージ1とXYスライダー4との相対的な位置関係を一定に保つ。

請求項（抜粋）：

平面上をXY移動方向に移動可能な第1ステージと、該第1のステージに対して該第1のステージの移動方向と略平行な微小範囲を移動可能な第2ステージと、前記第1及び第2ステージの位置をそれぞれ独立に計測する第1及び第2計測手段と、前記第1及び第2計測手段により得られる計測値を用いて前記第1及び第2ステージを駆動する駆動手段と、前記第2計測手段によって規定されるXY方向と前記第1ステージのXY移動方向とのずれと、前記第2ステージの位置とに基づいて、前記第1及び第2ステージの相対位置を一定に保つように前記駆動手段による該第1ステージの駆動を補正する補正手段とを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

G12B 5/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (3件)：

G12B 5/00 T , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A

Fターム (20件)：

2F078CA02 , 2F078CA08 , 2F078CB05 , 2F078CB13 , 2F078CC07 , 5F031CA02 , 5F031HA53 , 5F031JA06 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA32 , 5F031KA06 , 5F031LA03 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC04 , 5F046CC16 , 5F046CC18

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