特許
J-GLOBAL ID：200903041656356727
グレーズドAlN基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-279469
公開番号（公開出願番号）：特開平6-107483
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 その放熱特性を改善し、表面平滑性が良好であり、かつ、基板上に積層されるガラス層間およびガラス層と基板間の界面に気泡および割れや、ひびのはいらない堅牢なグレーズドAlN基板を提供する。【構成】 グレーズドセラミック基板の基板材に放熱特性のよいAlN焼結体11を使用し、このAlN焼結体11の上に積層されるガラス層14とAlNとの反応を防止し、かつ、その密着性を高めるために、両層の間に表面酸化層12およびSiO2層13を介在させる。このガラス層は複数層14〜16を積層して構成する。これらのガラス層14〜16はガラス質結晶粒子(β-ユークリプタイト)の添加量を制御することにより、その熱膨張係数を最表層に向かって徐々に増加させる。
請求項（抜粋）：
AlN焼結体の表面に複数層からなるガラス層を積層したグレーズドAlN基板にあって、上記複数のガラス層は、層中に低熱膨張係数を有する結晶質粒子を含み、かつ、その添加量を変更することにより、上記AlN焼結体の直上の一層目から表面層に向かうにしたがってその熱膨張係数を徐々に大きくしたことを特徴とするグレーズドAlN基板。
IPC (3件)：
C04B 41/86
, C04B 41/89
, H01L 23/15
