特許
J-GLOBAL ID：200903041659167038
光デバイス用のセラミック基板の位置決め方法と該方法に用いる光デバイス用のセラミック基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 宗久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338067
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159881
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 光ファイバの端部に装着されたフェルールに支持枠を介して取着するセラミック基板を、フェルールに対して位置決めする、セラミック基板の位置決め方法を得る。【解決手段】 セラミック基板のX-Z方向を向く端面40cとフェルールのX-Z方向を向く端面20cとに、Z方向を向く溝状のマーカー70、80を、レーザ光を照射して刻設する。そして、その溝状のマーカー70、80を、同一Z線上に位置させる。それと共に、セラミック基板40と支持枠50とフェルール20とのX-Z方向を向く端面を、位置決め治具に設けたX-Z方向を向く基準面に隙間なく当接させる。そして、フェルールのX-Y方向を向く表面20aに支持枠50を介して取着するセラミック基板40のX-Y方向の位置決めを行う。
請求項（抜粋）：
セラミック基板を支持枠に接合し、前記セラミック基板のX-Y方向を向く表面に光用半導体素子を搭載し、前記支持枠を光ファイバの端部に装着されたフェルールのX-Y方向を向く表面に取着して形成する光デバイスにおいて、前記セラミック基板のX-Z方向を向く端面と前記フェルールのX-Z方向を向く端面とにレーザ光を照射して刻設したZ方向を向く溝状のマーカーを同一Z線上に位置させると共に、前記セラミック基板と支持枠とフェルールとのX-Z方向を向く端面を位置決め治具に設けたX-Z方向を向く基準面に当接させて、前記フェルールのX-Y方向を向く表面に前記支持枠を介して取着する前記セラミック基板のX-Y方向の位置決めを行うことを特徴とする光デバイス用のセラミック基板の位置決め方法。
IPC (4件)：
G02B 6/42
, H01L 31/10
, H01L 33/00
, H01S 3/18
G02B 6/42
, H01L 33/00 N
, H01S 3/18
, H01L 31/10 A
