特許

J-GLOBAL ID：200903041663158680

二重収束型二次イオン質量分析装置用試料ホルダー

発明者： 大杉 未奈
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-058963
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254488
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 試料の厚さの違いによって、試料ホルダー板に曲がりや歪みを生じたり、試料の保持力が不足したりすることがなく測定結果を高精度に得ることができる二重収束型二次イオン質量分析装置用試料ホルダーを提供すること。【構成】 試料ホルダー板2に対して、試料4を押圧部材6により押しつけて保持するように構成された二重収束型二次イオン質量分析装置用ホルダーにおいて、押圧部材6の基端を支持している押さえ部材3を、試料ホルダー板2に対して、接近離間調整可能に構成し、これによって、試料4の厚さが変化しても押圧部材6による試料4の(試料ホルダー板2に対する)押し付ける力を常に一定に設定し得るようにしたこと。

請求項（抜粋）：

試料ホルダー板に対して、試料を押圧部材により押しつけて保持するように構成された二重収束型二次イオン質量分析装置用ホルダーにおいて、前記押圧部材の基端を支持している押さえ部材を、前記試料ホルダー板に対して、接近離間調整可能に構成したことを特徴とする二重収束型二次イオン質量分析装置用ホルダー。

IPC (5件)：

G01N 1/28 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 49/32 ,  G01N 27/62

FI (5件)：

G01N 1/28 W ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 A ,  H01J 49/32 ,  G01N 27/62 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-083637
  
• 特開平1-189847
  
• 特開平3-024436
  
• 特開平4-328442