特許
J-GLOBAL ID：200903041669390860
電子線描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269968
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120127
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【構成】入力データ保持回路301,303,電圧,電流測定回路302,304を設け、制御回路に設定された値、あるいは、実際に電子光学鏡筒に設定された電圧、又は、電流を測定して表示する。又、入力データと測定結果とを比較する機能を設ける。【効果】制御回路に設定された値、あるいは、実際に使用されている電圧、又は、電流を測定しているので、制御計算機と電子光学鏡筒との間に発生した不良を容易に見出すことが出来る。又、必要に応じて電圧、又は、電流単位で表示することができ、装置の操作性が向上する。
請求項（抜粋）：
電子線を放出する電子源,上記電子線の方向を調節するアライナ,上記電子線を所定の形状にする複数の電子レンズ,上記電子線を必要な範囲にわたって偏向する為の偏向器等から構成される電子光学鏡筒と、描画パターンを形成する為の試料を搭載する試料台、及び、上記試料台を格納する試料室と、上記試料を上記試料台上に搭載するためのローディング室と、上記電子源,上記アライナ,上記電子レンズ,上記偏向器,上記試料台等を制御するための制御回路と、上記制御回路にデータを入力するための入力装置、及び、装置に関する情報を表示するための表示装置と、装置全体を制御する制御計算機とを含む電子線描画装置において、入力されたデータが、上記制御回路に正しく設定されたことを確認する機能を備えたことを特徴とする電子線描画装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01J 37/305
