特許

J-GLOBAL ID：200903041673028288

ゲートバルブ

発明者： 岡 寛樹 ,  成島 正樹
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149245
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337546
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】 特開平5-196450号公報のゲートバルブ100は構成部品が多く機構的に複雑でコスト的に高くなる上に、ローラ109がゲートチャンバー106の内壁にぶつかりパーティクルを発生し易い。特開平10-159999号公報のゲートバルブ200は第1、第2コロガイド溝203、204を高精度に加工しなくてはならずコスト的に高くなり、部品点数も多い。【解決手段】 本発明のゲートバルブ10は、固定された第1リンク11A及び第1リンク11Aに対して第2、第3リンク11B、11Cを介して連結された移動可能な第4リンク11Dを有する平行四辺形状のリンク機構11と、このリンク機構11の第4リンク11Dの上方の連結部からの延長端に取り付けられて開口部21を開閉する弁体12と、この弁体12を駆動するために第1、第2リンク11A、11Bの連結部と第3、第4リンク11C、11Dの連結部に両端がそれぞれ連結されたエアシリンダ13とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

固定された第1リンク及び第1リンクに対して第2、第3リンクを介して連結された移動可能な第4リンクを有する平行四辺形状のリンク機構と、このリンク機構の第4リンクの一方の連結部から延長された部分に取り付けられて開口部を開閉する弁体と、この弁体を駆動するために第1、第2リンクの連結部と第3、第4リンクの連結部に両端がそれぞれ連結された伸縮機構とを備えたことを特徴とするゲートバルブ。

IPC (3件)：

F16K 31/44 ,  F16K 3/16 ,  F16K 31/122

FI (3件)：

F16K 31/44 C ,  F16K 3/16 ,  F16K 31/122

Fターム (28件)：

3H053AA25 ,  3H053AA26 ,  3H053AA31 ,  3H053BD10 ,  3H053DA01 ,  3H053DA09 ,  3H056AA01 ,  3H056BB22 ,  3H056BB32 ,  3H056BB37 ,  3H056BB38 ,  3H056BB41 ,  3H056CA01 ,  3H056CB02 ,  3H056CD04 ,  3H056CE04 ,  3H056GG02 ,  3H056GG14 ,  3H063AA01 ,  3H063BB22 ,  3H063BB32 ,  3H063BB37 ,  3H063BB39 ,  3H063BB41 ,  3H063DA15 ,  3H063DB43 ,  3H063GG02 ,  3H063GG15