特許
J-GLOBAL ID：200903041674492360
電子機能素子用基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281218
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121323
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】【目的】 目的とする特性、物性を損なわず平面性の高い薄膜を有する電子機能素子用基板を得ることにある。【構成】 本発明は、両面に薄膜を有する基板を提供することで平面性の高い薄膜を有する基板を得るものである。【効果】 反りなどの少ない平面性の高い基板を得ることが可能となり、薄膜成長後の研磨等の表面処理、リソグラフィー等が容易となり均質性の高い電子機能素子の作成が可能となる。
請求項（抜粋）：
基板上に第1の薄膜を有し、第1の薄膜を有する該基板の裏面に第2の薄膜を有することを特徴とする電子機能素子用基板。
IPC (2件)：
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