特許
J-GLOBAL ID：200903041679401924
プラズマ表示装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-037971
公開番号（公開出願番号）：特開2003-242893
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 維持電極および/またはバス電極の段差にかかわらず誘電体層の平坦化を図り、しかも膜厚が小さく耐電圧特性に優れた誘電体層を実現して維持電極間の静電容量を抑制し、信頼性に優れ、高微細化および大画面化に適したプラズマ表示装置およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 複数対の放電維持電極12と、放電維持電極12を覆う誘電体層14とが内側に形成された第1パネル10と、第1パネル10の内側に放電空間4が形成されるように張り合わされる第2パネル20とを有するプラズマ表示装置である。誘電体層14が、放電維持電極12およびバス電極13を覆う平坦化誘電体膜14aと、その平坦化誘電体膜14aを覆い平坦化誘電体膜14aよりも耐電圧特性に優れた高耐電圧誘電体膜14bとを有する。平坦化誘電体膜14aが、ペースト法により形成される低融点ガラス膜であり、高耐電圧誘電体膜14bが、スパッタリング、蒸着法、または化学気相成長法により形成される酸化シリコン膜である。
請求項（抜粋）：
複数対の放電維持電極と、前記放電維持電極を覆う誘電体層とが内側に形成された第1パネルと、前記第1パネルの内側に放電空間が形成されるように張り合わされる第2パネルとを有し、前記誘電体層が、前記放電維持電極を覆う平坦化誘電体膜と、前記平坦化誘電体膜を覆い前記平坦化誘電体膜よりも耐電圧特性に優れた高耐電圧誘電体膜とを有することを特徴とするプラズマ表示装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 11/02 B
, H01J 9/02 F
5C027AA06
, 5C027AA07
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GC02
, 5C040GD02
, 5C040GD09
, 5C040MA12
, 5C040MA23
