特許

J-GLOBAL ID：200903041684817420

荷電粒子線応用装置

発明者： 黒田 勝広
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-304088
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212955
出願日： 1988年11月24日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 一段又は二段のE×Bフィルタと試料に印加した一次電子線を減速する電界により電子線像の高分解能を実現する。【構成】 電子源からの一次電子線を絞るためのコンデンサレンズと試料との間にE×Bフィルタを配置しかつ試料に一次電子線を減速する電圧を印加して試料からの二次電子線を計測する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、該荷電粒子源からでた一次荷電粒子線を試料に照射するためのコンデンサレンズと対物レンズを含むレンズ手段と、該試料を保持する試料台と、該試料に該一次荷電粒子線を減速させる減速手段と、該一次荷電粒子線源と検出器の間にE×B形フィルタを設け、該減速手段と該E×B形フィルタを連動したことを特徴とする荷電粒子線応用装置。

IPC (2件)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-155941
  
• 特開昭60-047358
  
• 特開昭62-090839