荷電粒子露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241453
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082429
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】荷電粒子露光装置の設備コストの低減,レイアウトフリー化、布線作業の簡便化、耐ノイズ性の向上、種々の感光感度に対応したレジストへの描画を可能とする。【構成】電子線描画用の荷電粒子発生部19,試料搬送機構15等の装置本体部21と偏向制御部7等を収容する本体ラック23をクリーンルーム内に配置し、制御計算機1,操作表示部2,バッファメモリ4,描画制御部5等のデジタル制御部をクリーンルーム外に配置し、これらのクリーンルーム内外の装置各部を光ケーブルによるシリアル転送方式デジタル伝送路3a,3b,3c,3d,3h,3i,3jで接続する。荷電粒子をリアルタイムで偏向制御するビーム偏向制御部7とシリアル転送路3dとの間にファーストイン/ファーストアウト形記憶素子3gを配置し、記憶素子3gからのデータ読み出し周期を可変にする。

請求項（抜粋）：

ウエハ等に代表される試料、前記試料を搬送する搬送機構、前記搬送機構により装着した試料に荷電粒子を照射する荷電粒子発生部、前記荷電粒子発生部により照射する荷電粒子を試料に向けて偏向制御する偏向器/制御部、前記装置各部を制御するデジタル制御部、及び前記装置各部を操作し、状態等を表示する操作表示部とを備えて成る荷電粒子露光装置において、少なくとも前記荷電粒子発生部,偏向器/制御部,試料搬送機構をクリーンルーム内に配置し、一方、前記デジタル制御部をクリーンルーム外に配置すると共に、前記操作表示部については前記クリーンルーム内外のいずれかに選択的に配置し、これらのクリーンルーム内外に配置される双方の前記装置各部を1チャンネルもしくは複数チャンネルの光ケーブルによるシリアル転送方式デジタル伝送路で接続したことを特徴とする荷電粒子露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , H01L 21/02

FI (2件)：

H01L 21/30 341 L , H01L 21/30 341 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-080146
特開昭57-204131
特開昭63-094624

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