特許

J-GLOBAL ID：200903041690176959

感光性耐食膜組成物および方法ならびに同組成物を含む工業製品

発明者： ジェームス エフ.キャメロン ,  マルサ エム.ラハラトナム ,  ロジャー エフ.シンタ ,  ジェームス ダブリュー.サッケライ
出願人/特許権者： シプレイ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー
代理人 (1件)： 清水 初志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043762
公開番号（公開出願番号）：特開平11-282168
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、金属基板上へのコーティングおよび結像の際に有意に改善されたリソグラフィー性能を提供することができる新規感光性耐食膜組成物および方法を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明は、強い感光性生成酸を生じる陽画型化学増幅感光性耐食膜組成物の使用を含む。耐食膜を、ストリンジェントな乾燥工程、例えば少なくとも約140°Cで60秒以上基板を加熱する工程を行った金属基板上にコーティングする。強い感光生成酸と予めコーティングした基板のストリンジェントな乾燥とを組み合わせて用いることにより、金属基板上を含む非常に解像度のよい耐食膜起伏影像が得られる。

請求項（抜粋）：

a) 基板表面の少なくとも一部に露光した金属を有する基板を加熱する段階;b) 感光性耐食膜組成物が、1)活性化放射線に対する露光時に1つ以上の電子求引基で置換されたスルホン酸を生じる感光性酸生成剤と、2)置換スルホン酸の存在下で不安定である部分を含む成分とを含む、基板を加熱した後、陽画型化学増幅感光性耐食膜組成物のコーティング層を基板に適用する段階;およびc) 感光性耐食膜組成物コーティング層を露光および現像して感光性耐食膜起伏影像を得る段階を含む、金属表面領域を有する基板上に感光性耐食膜起伏影像を形成する方法。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/09 501

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/09 501