特許
J-GLOBAL ID：200903041691206258
超音波洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-134671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-323635
出願日： 1997年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハの洗浄面全域に効果的に超音波を照射して洗浄効果を高めることができる超音波洗浄装置を提供すること。【解決手段】 洗浄液6中のウェーハ7を一定姿勢に保持する支持部材28a、28bをそれぞれ異なる高さ位置に設けると共に、超音波槽2の両側壁に設けた超音波発生器23a、23bの前面にそれぞれ超音波保護板24a、24bを設ける。超音波保護板は超音波発生器の前面および当該前面より退いた待機位置へそれぞれ移動可能とし、他方側から超音波が照射されているときは前面位置に位置させる。超音波発生器23a、23bは交互に作動させ、一方側からウェーハ7に向けて照射したときの超音波の不到達領域29a(29b)を他方側から超音波を照射することによりウェーハ7の洗浄面7a全域に超音波を照射する。
請求項（抜粋）：
洗浄液が満たされた洗浄槽と、前記洗浄液中で薄板部材の下方周縁部の少なくとも2箇所をそれぞれ支持する溝付きの支持部材を有する薄板部材保持具と、前記洗浄液中の前記薄板部材の洗浄面と平行に前記薄板部材の両側方から水平方向に超音波を照射する超音波発生手段とを備えた超音波洗浄装置において、前記支持部材をそれぞれ異なる高さ位置に設けたことを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/12
, H01L 21/304 341
B08B 3/12 B
, H01L 21/304 341 T
