特許
J-GLOBAL ID：200903041696117679
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136888
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326005
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 レチクル面上の所定範囲を良好に照明することができるようにし、良好なるパターン像が得られる露光装置を得ること。【構成】 光源からの光束のうちX方向にマスキングするX方向マスキングブレードと該X方向マスキングブレードから光軸方向に離れた位置に配置したY方向をマスキングするY方向マスキングブレードとを有する開口径可変の遮光手段を介した光束により照射面上に載置した第1物体を照明し、該第1物体面上のパターンを第2物体に露光転写する際、該X方向マスキングブレードのエッジ端と該Y方向マスキングブレードのエッジ端とをブレードフォーカス光学系により該照射面に結像させていること。
請求項（抜粋）：
光源からの光束のうちX方向にマスキングするX方向マスキングブレードと該X方向マスキングブレードから光軸方向に離れた位置に配置したY方向をマスキングするY方向マスキングブレードとを有する開口径可変の遮光手段を介した光束により照射面上に載置した第1物体を照明し、該第1物体面上のパターンを第2物体に露光転写する際、該X方向マスキングブレードのエッジ端と該Y方向マスキングブレードのエッジ端とをブレードフォーカス光学系により該照射面に結像させていることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 27/00
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
