特許

J-GLOBAL ID：200903041697993685

光学的表面検査機構及び光学的表面検査装置

発明者： 武居 利治
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 宮川 貞二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239552
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066127
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 傷の深さが把握できると共に、浅い傷やうねり状態の把握が可能な光学的表面検査機構及び表面検査装置を提供する。【解決手段】 光源1からの光を略平行な光束にする光源光学系2と;光源光学系2で平行にされた光束に非点収差を与えて、該非点収差を与えられた光束を被測定物4の表面に焦線5を生じさせるように投射する第1の光学系3と;前記光束を投射された被測定物4の表面から反射された光束を直線状に収束させる第2の光学系6、8と;第2の光学系6、8で収束された光束を検出するラインセンサであって、直線状に配置された複数の光検出素子を有し、第2の光学系6、8により焦線5と共焦点の関係に置かれるラインセンサ9とを備える、被測定物4の表面状態を光学的に検査する光学的表面検査機構。被測定物の表面に焦線を生じさせるように投射できるので、被測定物の表面状態により、照射状態が変化する。とくに表面の凹凸の深さにより、照射状態が顕著に変わる。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面状態を光学的に検査する光学的表面検査機構において;光源からの光を略平行な光束にする光源光学系と;該光源光学系で平行にされた光束に非点収差を与えて、該非点収差を与えられた光束を前記被測定物の表面に焦線を生じさせるように投射する第1の光学系と;前記光束を投射された被測定物の表面から反射された光束を直線状に収束させる第2の光学系と;前記第2の光学系で収束された光束を検出するラインセンサであって、直線状に配置された複数の光検出素子を有し、前記第2の光学系により前記焦線と共焦点の関係に置かれるラインセンサとを備える;光学的表面検査機構。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/22 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01B 11/30 A ,  G01B 11/22 Z ,  G01N 21/88 Z

Fターム (32件)：

2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB25 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065FF44 ,  2F065FF67 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ23 ,  2F065UU07 ,  2G051AB07 ,  2G051AB10 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20 ,  2G051DA07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 検出光学系並びに立体形状検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-134668   出願人：株式会社日立製作所