特許

J-GLOBAL ID：200903041701300673

光導波路装置と集積光導波路マルチプレクサ/ディマルチプレクサ装置

発明者： チャールズ ハワード ヘンリー ,  ミッチェル アン ミルブロッド ,  ヘンリー ハワード ヤッフェ
出願人/特許権者： アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-073771
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317717
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】 集積光素子において、ひずみに起因する複屈折を補償するような方法を改良することである。【構成】 本発明によれば、シリコン基板の上のシリカ製導波路の圧縮ひずみにより引き起こされる複屈折は、高屈折率パッチ(例えば、窒化シリコン)9をコア20に隣接して配置することにより補償できる。この高屈折率パッチ9は、コア20に十分近接して、伝送する光モードと光学的に結合する。このパッチ9は好ましくは、コア20の幅以上で、伝送光モードのエクスポネンシャルテール(exponential tail)と交差する程度である。このような高屈折率パッチは、TE極性モードと優先的に結合する。このパッチを適当な長さに選択することにより、ひずみと曲げによる複屈折が補償できる。

請求項（抜粋）：

基板(22)と、前記基板(21)の上に配置されたクラッド層(23)と、この周囲のクラッド層(23、24)の材料の屈折率よりも高い屈折率を有し、クラッド層(23)上に配置された光伝送用細長い導波路コア(20)と、前記コア(20)上に配置された上部クラッド層(24)とからなり、異なる極性状態を有し、この異なる極性状態に対し異なる有効屈折率を有する複数の光モードで光を伝送する光導波路装置において、前記伝送光モードと光学結合できる程度に、前記コア(20)に近接して前記クラッド層(23)内に配置される極性独立スペクトル応答を提供するパッチ(9)を有し、前記パッチ(9)は、前記コア(20)のそれよりも高い屈折率を有し、コアよりも広い幅と、コアよりも薄く且つ導波路よりも短いことを特徴とする光導波路装置。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  H01L 27/15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-058229
  
• 特開平1-003624
  
• 特開昭63-071808