特許
J-GLOBAL ID：200903041701696810
露光装置の評価方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161208
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354411
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 露光装置におけるコマ収差を高精度で容易に測定することができる露光装置の評価方法を提供する。【解決手段】 先ず、コマ収差と、2本の開口部を透過した透過光により形成される開口パターンの寸法差との関係を予め求めておく。次に、評価用マスクを評価対象の露光装置に設置し、この露光装置を使用して、表面に感光性樹脂膜が形成された基板の表面を露光する。その後、基板の表面の感光性樹脂膜を現像することにより、2本の開口部を透過した光により形成された開口パターンを得る。その後、得られた2本の開口パターンについて、その幅を測定し、寸法差を算出する。その後、予め求められたコマ収差と寸法差との関係に基づいて、実際に測定した寸法差からレンズ(光学系)のコマ収差を求める。
請求項（抜粋）：
第1の露光用光と、前記第1の露光用光に対して180 ゚の位相差を有する第2の露光用光とを、露光装置の光学系を介して試験板の表面に形成された感光性樹脂膜に照射する工程と、前記感光性樹脂膜を現像して前記第1の露光用光により露光された第1パターンと、前記第2の露光用光により露光され前記第1パターンから所定の方向に離間して形成された第2パターンを得る工程と、前記第1パターンの前記所定の方向における幅と前記第2パターンの前記所定の方向における幅との差を測定し、この差に基づいて前記光学系のコマ収差を求める工程と、を有することを特徴とする露光装置の評価方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01M 11/02
, G03F 1/08
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 V
, G01M 11/02 A
, G03F 1/08 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 528
