特許
J-GLOBAL ID：200903041702369227
画像取得方法および画像取得装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-013025
公開番号（公開出願番号）：特開2007-192753
出願日： 2006年01月20日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【目的】本発明は、検出対象のパターンの画像を取得する画像取得方法および画像取得装置に関し、パターンの測長精度を大幅に向上させることを目的とする。【構成】 細く絞った電子線ビームで測長対象のパターンを走査したときに放出あるいは反射された電子を検出器で検出するステップと、測長対象のパターンを走査したときに検出された信号と、設計データ上で当該パターンが存在する領域よりも若干広いに範囲を持つマスクパターンとを演算し、パターンおよびその近傍の領域の信号を抽出およびそれ以外の領域の信号を抑圧するステップとを有し、抽出および抑止した信号をもとにパターンのエッジを抽出し、エッジをもとに当該パターンの寸法を測長する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測長対象のパターンの画像を取得する画像取得方法において、
細く絞った電子線ビームで測長対象のパターンを走査したときに放出あるいは反射などされた信号を検出器で検出するステップと、
前記測長対象のパターンを走査したときに前記検出された信号と、設計データ上で当該パターンが存在する領域よりも若干広いあるいは若干狭い領域を持つマスクパターンとを演算し、有意な領域の信号を抽出およびそれ以外の領域の信号を抑圧するステップとを有し、
前記抽出および抑圧した信号をもとに前記パターンのエッジを抽出し、当該エッジをもとに当該パターンの寸法を測長することを特徴とする画像取得方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F067AA16
, 2F067AA21
, 2F067AA26
, 2F067AA54
, 2F067BB01
, 2F067BB04
, 2F067CC16
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067KK08
, 2F067RR03
, 2F067RR12
, 2F067RR29
, 2F067RR31
, 2F067RR39
