特許
J-GLOBAL ID:200903041711301260
液晶表示装置及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梅田 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-069440
公開番号(公開出願番号):特開平10-268344
出願日: 1997年03月24日
公開日(公表日): 1998年10月09日
要約:
【要約】【課題】 画素電極が層間絶縁膜上に形成され、該画素電極間及びTFTのチャネル領域を遮光する遮光膜をTFT基板に形成した液晶表示装置において、製造プロセスを増加させることなく形成することができる液晶表示装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 TFTのチャネル保護膜10と遮光膜11とを連続して成膜し、同一のレジストパターンを用いてこれらを同時にパターニングする。これにより、製造プロセスとしては遮光膜の成膜工程が増加するだけなので、大幅なプロセスの増加を招くことなく液晶表示装置を製造することができる。
請求項(抜粋):
互いに直交する複数のゲート信号線、ソース信号線及びマトリクス状のスイッチング素子を有し、該ゲート信号線、ソース信号線、スイッチング素子を覆うようにコンタクトホールを有する層間絶縁膜が設けられ、前記層間絶縁膜上に前記コンタクトホールを介して前記スイッチング素子と接続された画素電極を備えた液晶表示装置において、前記ソース信号線上及びスイッチング素子上であって、前記層間絶縁膜よりも下層に遮光膜が設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (6件):
G02F 1/136 500
, G02B 5/00
, G02F 1/1333 505
, G02F 1/1335 500
, H01L 29/786
, H01L 21/336
FI (6件):
G02F 1/136 500
, G02B 5/00 B
, G02F 1/1333 505
, G02F 1/1335 500
, H01L 29/78 612 D
, H01L 29/78 619 B
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