特許

J-GLOBAL ID：200903041712734616

化学機械研磨用ドレスヘッド

発明者： 根岸 邦明
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157809
公開番号（公開出願番号）：特開平10-006206
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】 ドレッシング中に環状ドレスヘッドの内壁を充分に洗浄することができるドレスヘッドの新規構造を提供する。【解決手段】 ドレスヘッド11はぼほ円盤状の本体19を有し、この本体19は、下部周縁にドレッシング用の環状接触領域12を有すると共にその内側に凹部20を有する。本体19は、外部から純水の供給を受ける流入経路18と、該流入経路につながる円盤状空洞22と、この空洞22の分散した複数箇所から凹部20へ放射状に導通する複数の流出経路17を有する。ドレッシング時、流入経路18からの純水は、円盤状空洞22および複数の流出経路17を経由して、内壁21に沿ってほぼ均等に流れ出し、内壁21に付着したスラリー液等を洗い流す。

請求項（抜粋）：

化学機械研磨に用いる研磨パッドの再生を行うためのドレスヘッドであって下部周縁にドレッシング用の環状接触領域を有すると共にその内側に凹部を有するものにおいて、前記凹部の内壁に沿って純水を流して、当該内壁を洗浄する機構を設けたことを特徴とする化学機械研磨用ドレスヘッド。