特許

J-GLOBAL ID：200903041713431668

ダイシングテープ

発明者： 長谷川 欣治 ,  久保 耕司 ,  室岡 博文
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018492
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214801
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】 ポリエステルフィルム及びシリコーン樹脂離形層に含まれている不純物に起因するシリコンウエハーの歩留り低下を防止することができるダイシングテープを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に粘着剤層を形成した粘着フィルムに、ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に、特定のシランカップリング剤を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上にシリコーン離形層を設けてなる離形フィルムを、該離形フィルムのシリコーン離形層面と該粘着フィルムの粘着剤層面を貼合せ積層したことを特徴とするダイシングテープ。

請求項（抜粋）：

ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に粘着剤層を形成した粘着フィルムに、ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に、下記式(I)で示される化合物を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上にシリコーン離形層を設けてなる離形フィルムを、該離形フィルムのシリコーン離形層面と該粘着フィルムの粘着剤層面を貼合せ、積層したことを特徴とするダイシングテープ。【化1】Y-Si-X3 ......(I)[式(I)中、Xはアルコキシ基、Yはエポキシ基、アミノ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基又はアルコキシ基を有する反応性有機官能基を示す。]

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  B32B 27/36 ,  C09J 7/02

FI (3件)：

H01L 21/78 N ,  B32B 27/36 ,  C09J 7/02 Z