ホルダ受および試料ホルダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241518
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089909
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】顕微鏡装置で観察する試料の加熱および冷却を容易に行えるようにすること。【解決手段】試料ホルダ装着面34およびその反対側の導電部材接続面35を有し且つ前記試料ホルダ装着面34および導電部材接続面35間に一対のプローブ電力接続孔36と一対の温度制御電力接続孔37とが形成された前記ホルダ受本体31と前記両接続孔36および37に対応して前記導電部材接続面35に固着されたプローブ用導電性ナット32および温度制御用導電性ナット33とを有するホルダ受A。前記ホルダ受Aに着脱自在に装着され、前記プローブ電力接続孔36および温度制御電力接続孔37に対応する孔46を有する試料ホルダ本体41を有し、前記孔46,47を通る導電性ボルト56により、ホルダ受Aから試料ホルダ本体41の試料保持面45への給電、およびホルダ受Aへの試料ホルダ本体41の固着を行う試料ホルダH1。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とするホルダ受、(Y01)XY平面内でスキャン可能なスキャナ先端に装着された絶縁性のホルダ受本体、(Y02)試料ホルダ装着面および前記試料ホルダ装着面の反対側の導電部材接続面を有し且つ前記試料ホルダ装着面および導電部材接続面間に一対のプローブ測定用電力接続孔と一対の温度制御電力接続孔とが形成された前記ホルダ受本体、(Y03)前記一対のプローブ測定用電力接続孔および前記一対の温度制御電力接続孔は前記一対のプローブ測定用電力接続孔を結ぶ線分と前記一対の温度制御電力接続孔を結ぶ線分とが交差するように配置された前記ホルダ受本体、(Y04)前記一対のプローブ測定用電力接続孔に対応して前記導電部材接続面に固着された一対のプローブ用導電性ナット、(Y05)前記一対の温度制御電力接続孔に対応して前記導電部材接続面に固着された一対の温度制御用導電性ナット、(Y06)前記一対のプローブ用導電性ナットに接続されて、プローブ用電力を給電するプローブ用給電部材、(Y07)前記一対の温度制御用導電性ナットに接続されて、温度制御用電力を給電する温度制御用給電部材。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , H01J 37/20 , H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 A , H01J 37/20 E , H01J 37/28 Z

引用特許：

出願人引用 (6件)

走査型トンネル顕微鏡用試料ホルダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-226270 出願人：セイコー電子工業株式会社, 東京瓦斯株式会社
顕微鏡の試料加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-049968 出願人：日本電子株式会社
特表平2-504314

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