特許

J-GLOBAL ID：200903041727875402

単結晶製造方法

発明者： 藤井 信三 ,  梅澤 浩光 ,  河西 孝之
出願人/特許権者： 富士電気化学株式会社
代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352575
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167877
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 単結晶の製造回数に関わらず、同じ電力量の調整で、結晶径が安定した高品質の単結晶を製造することができる単結晶製造方法を提供すること【解決手段】 未使用の耐火物ルツボ2,保温耐火物9に対し、製造する単結晶の融点で、単結晶の製造時間と同じ時間の熱処理を予め施す。係る耐火物に囲まれた空間内に溶融原料5を充填したルツボ4を設置し、高周波コイル12に通電して溶融原料を融解する。そして、回転軸10の先端に取り付けられた種子結晶11を溶融原料の表面に接触させ、種子結晶を回転させながら上昇させることにより、種子結晶の先端に育成結晶13を形成する。熱処理によって耐火物内の有機物がすでに蒸散されているので、製造時の熱によって、再度有機物が蒸散することがなく、耐火物の材質は変化しない。よって、単結晶の製造回数に関係なく、1回目から径が安定した高品質の単結晶が同じ条件で製造できる。

請求項（抜粋）：

加熱装置により耐火物(9)で覆われた加熱空間内に配置された容器(4)を加熱してその容器内の溶融原料(5)を溶融させるとともに、その溶融原料の液面に種子結晶を接触させ、それを回転させながら引き上げることにより、種子結晶の下面に溶融原料を固化させて単結晶を製造させるようにした単結晶製造方法において、前記耐火物は、予め熱処理を行い、熱的に安定状態にしたものを使用するようにしたことを特徴とする単結晶製造方法。

IPC (3件)：

C30B 15/00 ,  C30B 15/10 ,  C30B 29/28

FI (3件)：

C30B 15/00 Z ,  C30B 15/10 ,  C30B 29/28