特許
J-GLOBAL ID：200903041730675848
露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308121
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144694
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 露光装置におけるウェーハチャックの構造と、この装置を使用する露光方法に関し、ウェーハ裏面側に異物が存在する場合の転写パターンの品質低下を防ぐことを目的とする。【構成】 ウェーハチャック10の吸着面12a が複数個に分割されており、この分割された吸着面12a が個別に吸着オン・オフ並びに上下動するように構成されている。ウェーハ1を先ずこのウェーハチャック10の全吸着面12a で水平に吸着保持し、露光ショット毎にウェーハ1のその露光ショットの露光領域1aを吸着する吸着面12a が吸着を停止すると共に下降し、この状態でこの露光領域1aを露光する。
請求項（抜粋）：
ウェーハ(1) を水平に吸着保持するウェーハチャック(10)の吸着面(12a) が複数個に分割されており、該分割された吸着面(12a) が個別に吸着オン・オフ並びに上下動するように構成されていることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
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