X線用回折格子

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294771
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094997
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、微細なグレーティング構造を精度良く作成することを可能とし、特に直入射領域でも回折効率が大きなX線用回折格子を提供することを目的とする。【解決手段】高面指数の結晶性基板上に、物理的成膜法により前記結晶性基板と異なる結晶を薄く結晶成長することで、表面に平行溝構造を形成してなるX線用回折格子を構成する。

請求項（抜粋）：