特許
J-GLOBAL ID:200903041742494792

層間界面における付着力の測定法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  箱崎 幸雄
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-549468
公開番号(公開出願番号):特表2006-505773
出願日: 2003年10月31日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
一連のレーザ衝撃を直接的に層の1つ(1)の表面に加えることにより、2つの層(1、2)間の付着力の強度を評価する。2層(1、2)間の界面(3)の断裂を引き起こす衝撃を作り出すレーザ・パルス(L2)の波長(λ2)およびエネルギー(ε2)に基づいて付着強度を求める。
請求項(抜粋):
2つ以上の層のスタック内の第1および第2の材料層間の付着強度測定法であって、前記第1および第2の層が界面で接触し、 波長および/またはエネルギーがそれぞれ異なる複数のレーザ・パルスによってこれらの層の前記スタックの自由表面に衝撃を与えることにより、複数のレーザ衝撃を直接的に前記自由表面に加えるステップと、 前記複数のレーザ・パルスの1つの印加による前記界面の割れを検出するステップと、 前記界面の割れを生じさせる前記被印加レーザ・パルスの波長およびエネルギーを決定するステップと、 前記決定された波長およびエネルギーの値に基づいて前記第1および第2の層の付着強度の値を算出するステップと、 を備える、付着強度測定法。
IPC (2件):
G01N 29/00 ,  G01N 19/04
FI (2件):
G01N29/00 501 ,  G01N19/04 Z
Fターム (3件):
2G047AC10 ,  2G047BC00 ,  2G047CA04
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平1-203966
  • 特開平2-150764
  • 特開昭62-106366
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