特許

J-GLOBAL ID：200903041745225717

プローブヘッドおよびその製造方法

発明者： 羽賀 剛 ,  平田 嘉裕
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-176813
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356135
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 複数のプローブピンのたわみの方向が確実にわかるプローブヘッドを提供する。【解決手段】 プローブヘッド10は、検査対象物に電気信号を送るための配線11を有する基板12と、配線11に接続されかつ基板12から突出する、金属からなる複数のプローブピン13とを備える。各プローブピン13は、基板12の主要面12aに垂直な方向に対して、同じ方向に傾いている。傾き角度は1°〜10°である。各プローブピン13の基板主要面12aに平行な断面は、非等方的であり、たとえば長方形または楕円形である。このような傾きおよび断面形状により、プローブピン13は、検査時、すべて同じ方向にたわむ。

請求項（抜粋）：

検査対象物に電気信号を送るための配線を有する基板と、前記配線に接続されかつ前記基板から突出する、金属からなる複数のプローブピンとを備え、前記複数のプローブピンは、前記基板の主要面に垂直な方向に対して、同じ方向に傾いており、各プローブピンの前記基板の主要面に平行な断面は、非等方的であり、前記断面の長さL1は前記断面の長さL2(ここで、L1は、前記基板の主要面に垂直な方向に対する前記プローブピンのずれ方向における前記断面の長さであり、L2は、前記ずれ方向と垂直な方向における前記断面の長さである)よりも短い、プローブヘッド。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 B

Fターム (16件)：

2G011AA10 ,  2G011AA16 ,  2G011AB06 ,  2G011AB09 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DD15 ,  4M106DD30