特許
J-GLOBAL ID：200903041751182540
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164651
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357899
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 可撓性優れ、耐クラック性が良好で、且つ耐燃性、電気特性に優れたレジスト組成物を得る。【解決手段】 エポキシアクリレートをシアン酸エステル化合物で変性したものと多塩基酸無水物との反応物である感光性樹脂、芳香族ウレタンアクリレート及びコア/シェル型粒子を組み合わせて配合する。【効果】 可撓性に優れたレジスト組成物を得ることができ、冷熱サイクル試験での耐クラック性が良好で、且つ耐熱性、耐マイグレーション性等に優れたものが得られた。
請求項（抜粋）：
エポキシアクリレート(a)をシアン酸エステル化合物(b)で変性したもの(A)と多塩基酸無水物(c)との反応物である感光性樹脂(B)及び一般式【化1】(n、mは1以上の整数)で示される化合物(d)及びコアにゴム弾性を有する多重構造の粉体(コア/シェル型粉体)(e)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物(C)。
IPC (4件)：
G03F 7/027 513
, G03F 7/027 515
, C08F299/02
, G03F 7/032
G03F 7/027 513
, G03F 7/027 515
, C08F299/02
, G03F 7/032
2H025AA00
, 2H025AA10
, 2H025AA20
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC66
, 2H025BC74
, 2H025BC92
, 2H025CB58
, 2H025CC08
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J027AE07
, 4J027AG04
, 4J027AG09
, 4J027AG14
, 4J027AG23
, 4J027AG27
, 4J027AG33
, 4J027AJ01
, 4J027AJ08
, 4J027CA08
, 4J027CB10
, 4J027CC05
, 4J027CD10
