特許
J-GLOBAL ID：200903041751715955

成膜装置

発明者：
山本 敏隆

山本 敏隆 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  黒木 義樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-030115
公開番号（公開出願番号）：特開2007-211270
出願日： 2006年02月07日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】真空状態を維持したまま簡易な機構によってマスクを交換できる成膜装置を提供する。【解決手段】真空容器10は、被処理物14を搭載するための二つのキャリア11、各キャリア11に搭載されたマスク13、及び各キャリア11において各マスク13を支持するマスクホルダ12を収容しておくためのマスクストック室10cと、成膜材料Ma1を拡散させるための成膜室10bと、成膜室10b上に配置され、所定の搬送方向Aに延びており、その一端がマスクストック室10cに繋がっている搬送室10aとを有する。また、成膜装置1は、搬送室10a内に設けられ、キャリア11を搬送方向Aに搬送するための搬送機構3と、真空容器10内において被処理物14をマスク13、マスクホルダ12、及びキャリア11から分離して支持するための被処理物支持部2とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
成膜材料を拡散させて被処理物に付着させることにより成膜を行う成膜装置であって、 前記被処理物を搭載するためのN個(N≧2)のキャリア、前記N個のキャリアそれぞれに搭載され前記被処理物の成膜面の一部を覆うN個のマスク、及び前記N個のキャリアそれぞれにおいて前記N個のマスクそれぞれを支持するN個のマスクホルダを収容しておくためのマスクストック室と、 前記成膜材料を拡散させるための成膜室と、 前記成膜室上に配置され、所定の搬送方向に延びており、その一端が前記マスクストック室に繋がっている搬送室と、 前記搬送室内に設けられ、前記被処理物、前記マスク、及び前記マスクホルダを搭載した前記キャリアを前記搬送方向に搬送するための搬送機構と、 前記被処理物を前記マスク、前記マスクホルダ、及び前記キャリアから分離して支持するための被処理物支持部と を備えることを特徴とする、成膜装置。
IPC (1件)：
C23C 14/04
FI (1件)：
C23C14/04 A
Fターム (7件)：
4K029AA24 ,  4K029CA03 ,  4K029DD05 ,  4K029HA04 ,  4K029KA02 ,  4K029KA03 ,  4K029KA09
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開平02-173261
  • 特開平2-173261
  • 真空蒸着装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274738   出願人：日本電気株式会社

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