特許

J-GLOBAL ID：200903041753733713

微小測定対象要素の検査装置、カラーフィルタの検査装置、微小測定対象要素の検査方法、画素付き基板の製造方法およびプログラム

発明者： 勝尾 茂治
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 古部 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-047015
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247912
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 微細領域に異なった色材膜が配列されるカラーフィルタに対し、光学的測定に際して測定点の位置制御を簡易に行い、確実に測定値を得る。【解決手段】 本発明が適用されるカラーフィルタの検査装置は、まず、色材膜の配列を含むワーク30に対してスリット12を介してライン状のエリアからの光を得る。その後、このスリット光を分光光学素子13によって平面に展開して分光した後、この平面に展開して分光された光を2次元センサ素子10にて電気信号に変換して出力する。この2次元センサ素子10から出力された電気信号に基づいて各色の色材膜を代表する分光透過率を算出し、ワーク30に形成される各色材膜の膜厚を検出する。

請求項（抜粋）：

複数の微小測定対象要素が微小間隔を隔てて配列されたワークにおける当該微小測定対象要素の検査装置であって、前記微小測定対象要素の複数個にかかるライン状のエリアから透過、反射または放射された光を平面に展開して分光する分光手段と、前記分光手段により平面に展開して分光された前記光を読み取って電気信号を出力する読取手段と、前記読取手段から出力された電気信号から位置情報に対応する分光スペクトルを取得し、前記ライン状のエリアにかかる微小測定対象要素の分光特性を解析する信号処理手段とを備えたことを特徴とする微小測定対象要素の検査装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  G01J 3/46 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (4件)：

G01M 11/00 T ,  G01J 3/46 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

Fターム (18件)：

2G020AA08 ,  2G020CC13 ,  2G020DA02 ,  2G020DA03 ,  2G020DA04 ,  2G020DA12 ,  2G020DA65 ,  2G086EE05 ,  2G086EE10 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H091FA04Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC05 ,  2H091FC30 ,  2H091GA01