特許

J-GLOBAL ID：200903041756037203

眞空ベーキング槽

発明者： 島田 真吾 ,  土居 仁 ,  吉川 徹
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244839
公開番号（公開出願番号）：特開平5-057810
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】 重合体の逆汚染を防止し、眞空槽の清浄化を迅速に行う。【構成】 ガストラップ部を具備する眞空ベーキング槽は、ロータリーポンプにより減圧される眞空槽1内に、温度調節器により温度調節されるヒータ3上に、サンプルを載置する棚2と眞空槽1の内壁に突設された突起部6に装着されたガストラップ9とが配設されて構成されており、重合体サンプルから脱気されたガス成分が低温のガストラップ部9に選択的に補集されるから、被脱ガス重合体の逆汚染が有効に防止され、ガストラップ9のみの清浄だけを行えば良いので、眞空ベーキング槽の清浄化が簡単かつ迅速に行える。

請求項（抜粋）：

重合体を眞空下に加熱して重合体の脱気を行う眞空ベーキング槽において、該眞空ベーキング槽内に前記重合体から脱気されたガス成分を選択的に補集するガストラップ部を設けたことを特徴とする眞空ベーキング槽。